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湿法清洗即使用化学溶剂或者去离子水清洗 晶圆。 湿法清洗按照工艺方法可分为浸泡法和喷涂 法两种，如图 3 所示。 浸泡法是将晶圆浸入到装有 化学溶剂或者去离子水的容器槽中。 浸泡法是广泛 使用的一种方法， 尤其是针对一些比较成熟的节 点。 而喷涂法是将化学溶剂或者去离子水喷到旋转 的晶圆上以去除杂质的方法。 浸泡法可以同时处理 多个晶圆，喷涂法一个作业腔室只能同时处理一片 晶圆。 随着工艺的发展，清洗工艺的要求越来越高， 喷涂法的使用也越来越广泛。 1.2 干式清洗 顾名思义，干式清洗就是不使用化学溶剂或者 去离子水等物质，而是采用气体或等离子体等来进 行清洗的工艺。 随着技术节点的不断推进，清洗工 艺的要求越来越高 [9-10] ，使用的比例也在不断增加， 湿法清洗产生的废液也是大量增加。
王 五 筆 GTKG 倉 頡 MGHER 鄭 碼 CRJ 注音字母 ㄌㄨㄛˋ 總筆畫 10 目錄 1 詳細釋義 2 古籍釋義 説文解字 説文解字注 康熙字典 3 音韻彙集 中上古音 韻書集成 珞 詳細釋義 （表格信息來源：《 漢語大詞典 》 [3] 《 現代漢語詞典 》 [4] 《 漢語大字典 》 [5] ） 珞 古籍釋義 珞 説文解字 小石也。 從石樂聲。 郎擊切。 [1] 珞 説文解字注
天有九星、地有九宮，九宮飛星實際上也體現出了風水輪流轉的道理，九星每年進入不同的宮位，影響風水方位吉兇。 那么2023年九星都會飛臨什么方位，哪些方位吉利，哪些方位不吉，又如何催旺和化解呢？ 一起來看看吧。 一白貪狼星飛星到西南方，是2023年的風水桃花位 一白星是當運的生氣之星，所到的方位是吉利的方位。 貪狼星代表人緣、感情、桃花，同時旺偏財運，善加利用可增強桃花運與貴人、人緣運。 一白星對于未婚的男女來說，是最吉利的，有利于發現新的機會，增進戀愛的熱情。 桃花位是廚房或廁所衛生間，導致桃花位受污不好，衛生間五行水旺、廚房五行火旺，如果正好位于家中的桃花位上的話必然會導致桃花遇水，糜爛不堪，成為徹徹底底的爛桃花。 夫妻臥室也忌位于流年桃花位。
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